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?硅材料電阻率（硅片電阻率）的測量方法

2025年09月03日 19:17:47 人氣: 120 來源: 北京中慧天誠科技有限公司
四探針電阻率測試儀是按ASTM F84硅片電阻率測量的要求，用于對硅材料電阻率的測量。
規(guī)格參數(shù)：
雙數(shù)字表：一個數(shù)字表在測量顯示硅片電阻率的同時(shí)，另一個數(shù)字表監(jiān)測過程中的電流變化。
電壓量程：0-199.9mV
基本誤差：±(0.4-0.5%讀數(shù)+0.1%)
靈敏度：100μV
輸入阻抗：1000ΜΩ
電阻率范圍：10-?~1.9×10?Ω·cm
方塊電阻范圍：10-? ~1.9×10^4Ω/□
具有電壓表自動復(fù)零功能，當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時(shí)，電壓表指零，1、4探針接觸到硅片，測量電流渡過單晶時(shí)，電壓表指示2、3探針間的電壓（即電阻率）值。
測量精度：＜3%
電流量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA五檔
采用觸點(diǎn)電阻＜5mΩ的轉(zhuǎn)換開頭及繼電器（＞10%）

四探針電阻率測試儀

型號：GDS/KDY-4


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